光源系统设备验收阶段圆满完成,接
来就是
阶光刻机的组装。
除了光源系统、双工作台系统和光学系统，余零件所需还有更
确的镜
组、反
镜，以及arf光刻胶等,国内暂时还没有研发
来。
但这都不是问题。
因为最艰难的光源系统和双工作台系统已经被圆满攻破,剩Loading...
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