第18节（1 / 2）

2011年，、德、日、意几个大国的第四代自由电激光装置已经基本完成建设。而华国才刚开始批复项目建设，至今还未有属于自己的第四代自由电激光装置！

盛明安对第四代自由电激光光源倒是熟悉，因他前世研发光刻机，自然涉猎过构成光刻机心技术之一的光源。

就目前而言，光刻机主光源是激光等

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